专利摘要：本申请公开了一种旋转靶靶材TM自动调整机构及镀膜设备，属于太阳能电池领域。该调整机构包括第一固定板、磁铁定位板、若干磁铁以及若干磁铁上下调整组件；第一固定板和磁铁定位板呈上下叠置设置；磁铁上下调整组件依次排列并设置在第一固定板和磁铁定位板间；磁铁依次排列并设于磁铁定位板的下方；磁铁上下调整组件和磁铁一一对应；磁铁上下调整组件的上端与第一固定板连接，下端穿过磁铁定位板后与对应的磁铁连接，通过磁铁上下调整组件带动对应的磁铁上下移动。本申请可以对磁铁的位置进行实时自动调整，从而实现对磁铁表面到旋转靶材表面距离的实时自动调整，解决了现有技术中需破真空、阻断镀膜过程的缺陷问题。
今年以来迈为股份新获得专利授权7个，较去年同期增加了250%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了2.85亿元，同比增39.56%。
数据来源：企查查
